成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响

• 作者: 刘家祥 刘宸 王玥
• 来源期刊: 有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 粉末冶金 ITO靶材 素坯 成形压力 PVA
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 30-33
• 分类号: TF124
• 字数: 2828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2010.04.008

摘要

以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒.模压成形获得索坯,在氧气氛、1550℃烧结索坯制备ITO靶材.采用100～600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响.结果表明,成形压力在100～500MPa内,素坯及靶材密度随压力升高而增大,500MPa时达到最大值,分别为47.5%和99.16%.600MPa时素坯和靶材密度略微降低.成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难.增大PVA添加量,素坯更易脱模,且坯体内密度分布更均一.添加1.0%的PVA时获得的素坯及靶材密度最高,分别为45.21%和98.45%.得出素坯的较佳制备条件为成型压力400MPa,PVA添加1.0%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘家祥	北京化工大学材料科学与工程学院	87	791	15.0	23.0
2	王玥	北京化工大学材料科学与工程学院	6	51	3.0	6.0
3	刘宸	北京化工大学材料科学与工程学院	2	12	1.0	2.0