绝压传感器中陶瓷/钛合金焊接技术研究

• 作者: 崔光浩 秦占胜 邹向光
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 绝压传感器 陶瓷/钛合金 焊接 真空密封腔
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 78-79,86
• 分类号: TG454
• 字数: 2132字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.02.025

摘要

高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔.对实现真空封装过程中陶瓷/钛合金焊接技术进行了研究,焊接过程中由于存在焊接应力,容易发生陶瓷碎裂情况,通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数,实现了较高要求的真空封装,并对焊接后的试验件进行了试验分析,结果表明:焊接强度和密封腔体的漏率满足实际产品应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹向光	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	24	3.0	4.0
2	崔光浩	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	10	3.0	3.0
3	秦占胜	中国电子科技集团公司第四十九研究所	1	3	1.0	1.0