基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计

• 作者: 丁建宁 李伯全 潘海彬 王小飞 罗开玉
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟仪器 方块电阻 薄膜电阻率 四探针双电测组合法 范德堡修正因子
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 447-451
• 分类号: TP216
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2010.04.016

摘要

基于虚拟仪器技术及Rymaszewski四探针双电测组合法设计了薄膜电阻率自动化测量系统.在虚拟仪器软件LabVIEW和数字量输出模块NI 9401的控制下,利用基于CD4052芯片的接口电路实现电流探针、电压探针的自动切换,并通过LabVIEW程序控制Keithley 2400数字源表实现两次电压测量;同时根据两次电压测量结果由LabVIEW程序完成范德堡修正因子和方块电阻的计算;最终实现薄膜电阻率自动测量、记录和显示.试验结果表明,所设计的自动测量系统不仅可以满足多种薄膜电阻率测量要求,而且提高了测量精度和自动化程度,同时精简了薄膜电阻率测量过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘海彬	江苏大学机械工程学院	18	306	11.0	17.0
5	李伯全	江苏大学机械工程学院	81	661	15.0	21.0
6	丁建宁	江苏大学微纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
10	罗开玉	江苏大学机械工程学院	40	207	8.0	14.0
11	王小飞	江苏大学机械工程学院	3	32	2.0	3.0