透明衬底透明膜椭偏数据处理分析

• 作者: 刘昌宁 肖国辉 黄佐华 黄妙娜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量与计量 分段迭代法 透明衬底 透明膜 椭偏
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 247-249,288
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.02.028

摘要

为了解决迭代法在反演透明衬底透明膜找偏参量时的出错问题,采用理论与实验相结合的方法,对透明衬底透明膜椭偏数据处理进行了理论分析和实验验证,找到了当薄膜折射率接近衬底折射率时,椭偏数据反演就会出错的原因.据此提出了分段遍寻迭代搜索法,以LABVIEW为开发工具,成功设计和编写了相应的数据处理程序,最后对一些样品进行了实际测量反演并与文献结果作了比较.结果表明,该程序能正确反演透明衬底单层透明膜的参量,并具有反演速度快、精确度可达0.03nm、稳定性好等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理与电信工程学院	63	586	13.0	22.0
2	黄妙娜	华南师范大学物理与电信工程学院	4	28	3.0	4.0
3	肖国辉	华南师范大学物理与电信工程学院	2	6	1.0	2.0
4	刘昌宁	华南师范大学物理与电信工程学院	2	6	1.0	2.0