含He纳米钛膜的XRD研究

• 作者: 余鑫祥 周宇璐 喻菁 邓爱红 陈燕 龙娟娟
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 纳米晶钛膜 X射线衍射(XRD) 晶粒尺寸
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 327-330
• 页数: 4页
• 分类号: O411
• 字数: 3445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2010.02.021

摘要

本文采用直流磁控溅射方法,在He/Ar混合气氛中,通过分别改变He/Ar流量比和沉积偏压制备不同He含量的钛膜.利用XRD(X-ray diffraction)对含He钛膜的微观结构和晶粒尺寸进行了研究.结果表明,在其它实验参数不变的情况下,当He/Ar流量比从1.0增加到25时,钛膜的平均晶粒尺寸从19.02 nm减小到8.63 nm.随着膜中He含量的增加,衍射峰宽化,晶粒细化,He的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势.而当沉积偏压从24 V增加到151 V时,其平均晶粒尺寸基本不变.He引入引起了(002)晶面衍射峰向小角度移动,晶格参数c增加,而a不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	喻菁	四川大学物理学院应用物理系	2	6	1.0	2.0
2	邓爱红	四川大学物理学院应用物理系	26	66	5.0	6.0
3	余鑫祥	四川大学物理学院应用物理系	1	1	1.0	1.0
4	龙娟娟	四川大学物理学院应用物理系	2	6	1.0	2.0
5	周宇璐	四川大学物理学院应用物理系	6	7	1.0	2.0
6	陈燕	四川大学物理学院应用物理系	41	180	8.0	12.0