冶金级硅氧化精炼提纯制备太阳能级硅研究进展

• 作者: 伍继君 刘大春 戴永年 杨斌 王烨 马文会 魏奎先
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 冶金级硅 太阳能级硅 氧化精炼 硼 综述
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 43-49
• 页数: 7页
• 分类号: TG146
• 字数: 5069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.01.09

摘要

综述了目前冶金级硅氧化精炼制备太阳能级硅的研究进展,详细介绍了熔渣精炼、吹气氧化精炼和热等离子体精炼的方法和装置以及杂质的去除效果.研究发现:上述氧化精炼方法对硅中杂质元素Al、Ca、Cu、B、P等具有很好的去除效果;熔渣和吹气氧化精炼对Fe不明显,须借助于定向凝固方法才能彻底的去除;吹气氧化精炼和等离子体精炼对硅中B的去除效果十分明显,可使其降低至0.1ppmw以下,这为当前冶金法提纯制备太阳能级硅在技术和工艺上提供了很好的思路;通过氧化精炼,硅中杂质元素完全可以达到太阳能级硅的要求.本文提出,吹气氧化精炼(或等离子体精炼)与定向凝固精炼联合使用并形成规模化和连续化精炼装置是加快我国太阳能级硅产业化进程最切实可行的办法和措施.