阴极弧离子源磁过滤器的磁场设计与数值模拟

• 作者: 王世庆 许丽
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤器 Bilek偏压 数值模拟 ANSYS有限元软件 大颗粒
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4|TB74
• 字数: 2820字
• 语种: 中文

摘要

对于阴极弧离子源,磁过滤器的磁场设计是提高其性能的关键技术之一.针对现有磁过滤器对大颗粒过滤不足之处,本文利用永磁体优化磁过滤器的磁场位形,并且增大磁过滤器出口面积等方法,对弯管磁过滤器进行结构和磁场优化设计.由模拟结果可知:此过滤器具有弯管过滤、Bilek偏压、较大的出口面积、出口平面磁场强度大小均匀分布等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世庆		18	64	5.0	7.0
2	许丽		7	9	2.0	3.0