热驱动微型电场传感器干燥技术

• 作者: 夏善红 张海岩 彭春荣 杨鹏飞 郭鑫
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 786-790
• 分类号: TP212
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.06.008

摘要

介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺.热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥法、自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较.对不同干燥方法制备的热驱动微型电场传感器的性能进行了测试,得到自组装膜法制备的热驱动微型电场传感器具有更好的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	彭春荣	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	23	124	8.0	9.0
3	张海岩	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	6	28	3.0	5.0
7	郭鑫	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	11	10	2.0	2.0
11	杨鹏飞	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	10	50	4.0	6.0