一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究

• 作者: 张小花 文玉梅 曾婕 李平 栗建中
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 磁性薄膜 石英音叉 有限元分析 谐振频率 Q值
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 117-120
• 分类号: TP212.13
• 字数: 2312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.01.037

摘要

针对磁电层复合式磁传感器Q值低的问题,提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构,通过测量音叉谐振频率变化量或Q值变化量达到检测静磁场的目的.采用有限元方法对磁性薄膜的位置进行了分析,发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场探测能力,并进行了实验验证.实验结果表明:测量Q值变化量比测量谐振频率变化量更优,最大灵敏度为119.471/mT,测量Q值分辨率为1,石英音叉Q值稳定度为20×10-6时,该磁传感器结构对磁场的分辨率为10-6T,敏感结构在零偏置磁场时Q值达2000左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文玉梅	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	147	1964	25.0	34.0
2	李平	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	155	1865	23.0	33.0
3	曾婕	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	2	15	2.0	2.0
4	栗建中	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0
5	张小花	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0