基于离子交换技术的表面传导电子发射源制备

• 作者: 吴胜利 张劲涛 张秀玲 王文江
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SED 光刻 离子交换 电子发射
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 577-581
• 分类号: TN104.3
• 字数: 3001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.02

摘要

本文介绍了采用离子交换技术制作表面传导电子发射源的原理和方法,应用离子交换技术制作了发射材料为金属Pd的表面传导电子发射源.分别研究了加电形成工序和激活工序中器件电流、发射电流随器件电压的变化规律,测试了电子发射性能,结果表明:发射电流存在阈值电压,即在器件电流达到最大值时的器件电压;最大发射效率有一个电压区间,在这个电压区间内,器件电流处于最低平台阶段,而发射电流达到稳定高电流阶段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴胜利	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	46	216	9.0	12.0
2	张劲涛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	19	54	4.0	6.0
3	王文江	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	14	57	4.0	7.0
4	张秀玲	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0