Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi2薄膜结构和表面形貌的影响

• 作者: 刘恋慈 张娟 李斌斌 江丰 沈洲 沈鸿烈 鲁林峰
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: β-FeSi2薄膜 石英衬底 亚层厚度比 多层膜
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 883-887
• 分类号: TB303|TB34
• 字数: 3187字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜.多层膜的总厚度为252 nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1 nm/3.2 nm、2 nm/6.4 nm和20 nm/64 nm.在850 ℃, Ar气气氛中退火2 h后,Si衬底上的多层膜完全生成了β-FeSi2相.但石英衬底上同样Fe/Si亚层厚度比的多层膜除了生成β-FeSi2相,还生成了少量的ε-FeSi相.通过增加Si亚层的厚度至Fe/Si亚层厚度比为2 nm/7.0 nm,在石英衬底上也获得了单相的β-FeSi2薄膜, 其光学带隙为0.87 eV,表面均方根粗糙度为2.34 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈洲	南京航空航天大学材料科学与技术学院	5	37	3.0	5.0
2	沈鸿烈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	93	264	9.0	10.0
3	江丰	南京航空航天大学材料科学与技术学院	17	57	5.0	6.0
4	李斌斌	南京航空航天大学材料科学与技术学院	23	157	8.0	10.0
5	鲁林峰	南京航空航天大学材料科学与技术学院	14	62	6.0	7.0
6	张娟	南京航空航天大学材料科学与技术学院	24	117	5.0	10.0
7	刘恋慈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	1	1	1.0	1.0