化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展

• 作者: 吕反修
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 化学气相沉积 多功能材料 产业化
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 特邀报告
• 页码范围: 15-28
• 页数: 14页
• 分类号: TG174.45
• 语种: 中文

摘要

化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热".30余年来, CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意.本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0