基于并口通信的多晶薄膜沉积装置

• 作者: 么忆权
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 多晶薄膜 并口通信 计算机控制
• 年，卷（期）: 2010,（23）
• 页码范围: 166-168
• 分类号: TN7|TP31
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-6835.2010.23.069

摘要

阐述了在Windows XP下利用计算机并口读取数字信号和发出控制指令的方法,给出了多晶沉积装置中所需要的测温电路、接口电路和控制电路.根据计算机并口通信要求,设计了驱动程序和应用程序.在多晶薄膜沉积装置中的应用表明该设计方法简便合理可靠性高.

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1	么忆权		2	0	0.0	0.0