基于有限元的电容临近传感器研究

• 作者: 姚尧 李晓钰 谢睿 陈向东
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容临近传感器 有限成分分析 三维仿真
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 51-53
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.08.016

摘要

建立了电容临近传感器的三维仿真数学模型,用FEA对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了被测物距离、电极宽度、电极长度间隙比等对传感器灵敏度的影响,并与理论计算进行比较,结果表明:测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比,与被测物距离近似成反比.该研究对电容临近传感器的结构设计有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈向东	西南交通大学信息科学与技术学院	159	826	13.0	17.0
2	谢睿	成都信息工程学院通信工程学院	4	10	3.0	3.0
3	李晓钰	西南交通大学信息科学与技术学院	5	66	4.0	5.0
4	姚尧	西南交通大学信息科学与技术学院	4	46	3.0	4.0