氦质谱检漏仪现场校准方法研究

• 作者: 冯焱 卢耀文 张涤新 徐婕 成永军 李莉 盛学民 赵澜
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氧质谱检漏仪 标准漏孔 校准
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TB773
• 字数: 2218字
• 语种: 中文

摘要

目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准.为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式.其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱		51	463	12.0	17.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	卢耀文		15	127	8.0	10.0
4	赵澜		28	161	8.0	10.0
5	盛学民		6	37	3.0	6.0
6	成永军		39	271	9.0	13.0
7	徐婕		10	74	6.0	8.0
8	李莉		5	50	3.0	5.0