双牺牲层微测辐射热计最新研究进展

• 作者: 彭自求 王军 蒋亚东 袁凯
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 双牺牲层 屋檐结构 伞状结构 隐藏桥腿结构
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 303-307
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2010.03.012

摘要

通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层.本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较了两种思路的优劣.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	王军	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	936	14.0	26.0
3	袁凯	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	22	200	9.0	13.0
4	彭自求	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	32	3.0	3.0