纳米Cu夹层ZnO透明导电膜

• 作者: 刘建军 李清山 李爱丽 石亮 闫金良
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 Cu夹层 光学性能 电学性能
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 1559-1562
• 分类号: O484.4|TN304.4
• 字数: 2891字
• 语种: 中文

摘要

用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Cu靶的方法在不同基底温度下制备了Cu纳米夹层结构ZnO透明导电膜.用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪和原子力显微镜等测试手段对薄膜样品进行表征.室温制备的Cu夹层ZnO薄膜,随着Cu层厚度的增加,ZnO层结晶性变差,可见光区域光学透过率减小,透射曲线蓝移,电阻率先迅速下降后缓慢下降.基底温度对薄膜表面形貌和粗糙度影响显著,随着基底温度的增加,薄膜在可见光区域光学透过率增加,电阻率随基底温度增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫金良	鲁东大学物理学院	25	100	5.0	8.0
2	李清山	鲁东大学物理学院	40	97	5.0	7.0
3	李爱丽	鲁东大学物理学院	6	25	4.0	4.0
4	石亮	鲁东大学物理学院	4	12	3.0	3.0
5	刘建军	鲁东大学物理学院	12	66	4.0	8.0