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Finite element analysis and optimization of temperature field in GaN-MOCVD reactor
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文献信息
| 篇名 | Finite element analysis and optimization of temperature field in GaN-MOCVD reactor | ||
| 来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 金属有机化学气相沉积 反应器 氮化镓 有限元分析 温度场 电磁场分布 温度均匀性 优化 | ||
| 年，卷（期） | zgkx_2010,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 2138-2143 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | O472.3 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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金属有机化学气相沉积
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