氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响

• 作者: 冯红亮 卢景霄 宁皓 张增院 林清耿 粱艳 郜小勇 马姣民
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化银薄膜 直流反应磁控溅射 Ag_2O薄膜 快速热处理
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 211-214
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+5
• 字数: 3290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.02.23

摘要

保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比 (OFR=[O_2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响.研究表明随着OFR的升高,氧化银薄膜呈现了从Ag+Ag_2O多晶结构到Ag_2O多晶结构的演变.薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变.较高的Ag_2O含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性,而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收,急剧地降低了薄膜的透射率和反射率.特别是在OFR为0.5条件下成功制备了具有(111)择优取向的Ag_2O多晶薄膜,有效地将氧化银热分解的临界温度降低到200℃左右.