真空热蒸发制备ZnS薄膜及其特性的研究

• 作者: 刘立慧 孙杰 权乃承 郝培风 高斐
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZnS 薄膜 热蒸发 光学带隙 Burstin-Moss 效应
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2010.01.009

摘要

用真空热蒸发在不同衬底温度下制备了ZnS薄膜,利用X射线衍射(XRD)、X射线能谱(EDAX)、紫外可见分光光度计(UV-vis)和原子力显微镜(AFM)研究了ZnS薄膜的晶体结构、成分、光学性能和形貌,分析了衬底温度对ZnS薄膜结构与光学特性的影响.结果表明,所制备的ZnS薄膜呈立方闪锌矿结构,衬底温度为300℃所制备的ZnS薄膜原子比(S/Zn)为0.95/1;薄膜表面均匀致密,呈多晶态,晶粒尺寸为18.2 nm;在可见区有好的透射性能,光学禁带宽度为3.82 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高斐	陕西师范大学物理学与信息技术学院	26	39	3.0	5.0
2	孙杰	陕西师范大学物理学与信息技术学院	11	24	2.0	4.0
3	权乃承	陕西师范大学物理学与信息技术学院	7	21	2.0	4.0
4	郝培风	陕西师范大学物理学与信息技术学院	5	19	2.0	4.0
5	刘立慧	陕西师范大学物理学与信息技术学院	5	19	2.0	4.0