影响扫描电镜图像质量的因素分析

• 作者: 周广荣
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 扫描电子显微镜 SEM 图像质量
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 使用与维修
• 页码范围: 57-59
• 分类号: TH77
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2010.06.018

摘要

本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响,分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化因为,提出提高图像质量的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周广荣	聚合物分子工程教育部重点实验室复旦大学高分子科学系	6	54	4.0	6.0