PC树脂上沉积DLC薄膜耐磨性与透光性的研究

• 作者: 周艺 成艳 熊晓玲 王彦波 褚颖 郑玉峰 魏世成
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: PC树脂 DLC薄膜 PECVD 耐磨性 透光性
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TG174.42
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.001

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在聚碳酸酯(PC)树脂片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,以获得耐磨性和透光性良好的光学镜片.研究了薄膜的沉积工艺对PC基体镀DLc薄膜耐磨性和透光性的影响.结果表明:PC树脂片上沉积DLC薄膜后,耐磨性有极大的提高,摩擦系数降低了70%左右,显微硬度增加了约30%且随着沉积时间增加而增加,但透光率由约90%降至80%～70%.薄膜样品的耐磨性和透光性与样品的粗糙度、形貌及组成有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚颖	北京大学前沿交叉学科研究院	1	9	1.0	1.0
2	成艳	北京大学前沿交叉学科研究院	8	26	4.0	5.0
3	郑玉峰	北京大学前沿交叉学科研究院	46	534	11.0	22.0
4	周艺	北京大学前沿交叉学科研究院	4	17	3.0	4.0
5	王彦波	北京大学前沿交叉学科研究院	3	33	3.0	3.0
6	熊晓玲	北京大学前沿交叉学科研究院	3	13	2.0	3.0
7	魏世成	北京大学前沿交叉学科研究院	18	102	7.0	9.0