微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究

• 作者: 周亮 孙玉利 左敦稳 祝晓亮
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 冰冻固结磨料抛光盘 微晶玻璃 正交试验 工艺
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 1184-1189
• 分类号: TG580
• 字数: 3668字
• 语种: 中文

摘要

通过四因素三水平正交实验,对微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺进行了研究.采用单位时间试样厚度变化表征抛光速度,以平均粗糙度表征抛光质量.获得了以优化抛光质量为目的的工艺参数:抛光压力:0.05 MPa;主轴转速:200 r/min;偏心距:105 mm;抛光时间:60 min.在该条件下获得了表面平均粗糙度为2.86 nm的超光滑表面,并且抛光速率为12.35 nm/min,并对抛光因素对表面质量和抛光速度的影响趋势进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	孙玉利	南京航空航天大学机电学院	68	394	12.0	16.0
3	祝晓亮	南京航空航天大学机电学院	3	21	3.0	3.0
4	周亮	南京航空航天大学机电学院	8	78	6.0	8.0