硅掺杂类金刚石薄膜表面性能研究

• 作者: 丁建宁 刘翊 田琨 范真 辛喜玲
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 硅掺杂 类金刚石薄膜 原子力显微镜 微观摩擦
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TG174.44|TH117.1
• 字数: 2042字
• 语种: 中文

摘要

本文使用原子力显微镜考察了硅掺杂类金刚石薄膜的表面形貌及粗糙度,同时分析了薄膜表面的粘附力和微观摩擦力学性能.实验表明,随着基底负偏压的增加,薄膜的表面粗糙度值逐渐减小;摩擦力和外加载荷成线性关系,且粘附力是微小载荷下影响固体滑动摩擦力的主要因素,并采用最佳拟合直线的斜率表征出样品的摩擦系数的大小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
2	范真	江苏大学微纳米科学技术研究中心	61	532	11.0	20.0
3	辛喜玲	江苏大学微纳米科学技术研究中心	7	28	3.0	5.0
4	田琨	江苏大学微纳米科学技术研究中心	6	25	3.0	5.0
5	刘翊	江苏大学微纳米科学技术研究中心	4	15	3.0	3.0