氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响

• 作者: 关庆丰 孙超 宫磊 张晓柠 郑陈超 陈康敏 黄燕
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 CrNx薄膜 氮气分压 组织结构
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 662-666
• 分类号: TB43
• 字数: 2710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.17

摘要

利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响.结果表明,随着氮气分压的升高,CrNx薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在氮气分压为1.0 Pa时由Cr2N相变为CrN相;同时因氮气分压改变粒子、离子的轰击作用,影响薄膜表面的能量状态,CrNx薄膜晶体的择优生长由(200),(220)变为(111).在氮气分压为1.5 Pa时可获得高沉积效率、高致密度、高硬度,并具有纳米晶体结构的单相CrN薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈康敏	江苏大学材料科学与工程学院	136	1294	19.0	28.0
2	黄燕	江苏大学材料科学与工程学院	37	182	8.0	11.0
3	孙超	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	126	1708	23.0	34.0
4	关庆丰	江苏大学材料科学与工程学院	60	362	11.0	15.0
5	张晓柠	江苏大学材料科学与工程学院	5	32	3.0	5.0
6	郑陈超	江苏大学材料科学与工程学院	4	32	3.0	4.0
7	宫磊	中国科学院金属研究所材料表面工程研究部	5	32	3.0	5.0