基于软X射线谱学显微双能衬度图像的元素空间分布研究

• 作者: 严睿 周冉冉 常睿 张祥志 王勇 甄香君 许子健 邰仁忠 郭智
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 扫描透射软X射线显微 相比双能衬度图像 同步辐射 微量元素空间分布
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 4535-4541
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

上海光源软X射线谱学显微实验站(BL08U)可实现30 nm空间分辨的元素探测功能.实验中,对样品内要标识元素的吸收边附近两个能量(E1和E2,且E1>E2)分别进行扫描成像,然后将这两幅吸收图上对应像素点的光密度相比,得到的相比双能衬度图像可有效地显示该元素的空间分布信息.