大视场高分辨率光学检查镜的设计和检测

• 作者: 于谦 杨甬英 沈亦兵
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 调制传递函数 公差分析 装校
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1220-1224
• 页数: 5页
• 分类号: TB851
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2010.06.031

摘要

设计具有大视场、高分辨率和微小畸变特点的工业检查用光学镜头.将检查物镜的设计与照明系统相结合,利用ZEMAX光学设计软件,对照明系统和成像系统整体进行像差校正和优化设计,利用照明的匹配、明视野和暗视野的变化来改变和提高物镜的实用分辨率.设计了具有上述特点的2.35倍光学镜头,对设计好的镜头进行公差分析、外部机械结构设计,并最终完成装校.搭建调制传递函数(MTF)测试系统,对装校后的镜头进行成像质量检验,测试结果显示,实测MTF值达到理论设计值的80%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈亦兵		40	431	10.0	19.0
2	杨甬英		44	354	11.0	18.0
3	于谦		1	0	0.0	0.0