单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

• 作者: 左玉华 张云 张岭梓 成步文 王启明 郭剑川
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 单行载流子 光电探测器 空间电荷屏蔽效应
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 4524-4529
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移一扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张云	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	68	856	16.0	27.0
2	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	118	735	14.0	20.0
3	左玉华	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	18	70	6.0	7.0
4	成步文	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	41	185	8.0	10.0
5	郭剑川	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	3	14	3.0	3.0
6	张岭梓	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	1	6	1.0	1.0