镀膜设备真空系统主泵的配置

• 作者: 杨静 陈素君
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜设备 真空系统 主泵 油扩散泵 分子泵 低温泵
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得设备与系统
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TB752
• 字数: 4705字
• 语种: 中文

摘要

真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大,传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨静		2	16	2.0	2.0
2	陈素君		6	24	2.0	4.0