正交偏振激光角度测量技术综述

• 作者: 任成 张书练 谈宜东
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 角度测量 正交偏振激光 滚转角
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 193-199
• 页数: 7页
• 分类号: O43|TN247
• 字数: 4309字
• 语种: 中文

摘要

机械导轨运动副滚转角的高精度测量一直是一个难题.研究了很多光学方法,但由于其角位移方向正好垂直于探测光束,所以仍没有得到很好的解决.利用激光偏振面对旋转的敏感性,通过测量由此引起的正交偏振激光光强、相位或频差的变化,可有效地解决滚转角的测量问题.介绍了目前国内外基于正交偏振激光的滚转角测量技术,根据其测量原理分为光强差测量、相位差测量和频率差测量三类.对每种测量方法的原理和发展现状进行了评述,比较了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张书练	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	85	832	17.0	24.0
2	谈宜东	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	13	48	4.0	6.0
3	任成	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	20	51	4.0	6.0