基于协调同步控制的MEMS微运动测量

• 作者: 刘世元 史铁林 谢勇君
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 协调同步控制 离面微运动 面内微运动
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 计算机与控制系统
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.8
• 字数: 2204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2010.01.012

摘要

为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3 ns,最小脉冲宽度可达10 ns.基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in-plane)微运动的自动测量.通过对硅微悬臂梁离面振动以及硅微谐振器阵列面内振动的实验测量验证了新协调同步控制方法的有效性和实用性,其中离面微运动测量重复性误差小于10 nm,面内微运动测量重复性误差小于25 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	192	2245	25.0	38.0
3	谢勇君	暨南大学电气自动化研究所	8	118	4.0	8.0