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基于条纹图的微结构离面运动特性测量
基于条纹图的微结构离面运动特性测量
作者:
刘世元
史铁林
谢勇君
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微结构
条纹图
离面运动
SUSAN滤波算法
相位去包裹
摘要:
为了测量微结构离面(Out-of-plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统,首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图,并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理,再利用5步相移算法从干涉条纹图中提取被测微结构的相位信息得到包裹相位的锯齿型条纹图,并采用质量导向图法进行去包裹处理,最后根据相位高度关系式可得到被测微结构运动周期内不同时刻的形貌图及其离面运动曲线.通过实验对正弦基础激励下硅微悬臂梁的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性小于10nm.
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文献信息
篇名
基于条纹图的微结构离面运动特性测量
来源期刊
计量技术
学科
工学
关键词
微结构
条纹图
离面运动
SUSAN滤波算法
相位去包裹
年,卷(期)
2010,(3)
所属期刊栏目
理论与实验
研究方向
页码范围
3-6
页数
分类号
TB9
字数
3125字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-0771.2010.03.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘世元
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
35
363
11.0
17.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
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参考文献
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研究主题发展历程
节点文献
微结构
条纹图
离面运动
SUSAN滤波算法
相位去包裹
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
计量技术
主办单位:
中国计量科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-0771
CN:
11-1988/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区北三环东路18号
邮发代号:
2-796
创刊时间:
1957
语种:
chi
出版文献量(篇)
6463
总下载数(次)
20
总被引数(次)
15970
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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