稀土-Heusler合金Tb-Co2FeAl垂直磁各向异性薄膜的制备和磁性能的研究

• 作者: 包瑾 姜勇 张国庆 张德林 徐晓光 李晓其
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直磁各向异性 垂直矫顽力 Tb-Co2FeAl薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 341-344
• 分类号: TM273
• 字数: 2066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2010.03.005

摘要

使用磁控溅射方法制备了一系列Tb-Co2FeAl磁性薄膜,研究了两种不同溅射功率以及不同的薄膜厚度对样品的磁性的影响.采用交变梯度磁强计(AGM)对样品磁性能进行表征.结果显示,当Tb靶和CO2FeAl靶的溅射功率分别为5和15 W时,同时表现出平面内各向异性及弱垂直各向异性;而当功率分别为10和30 W时则表现出强垂直磁各向异性,垂直矫顽力Hc=3.3×104 A·m-1,且垂直矫顽力的值随着薄膜厚度降低也逐渐减小,当厚度减小到10 nm时,Hc=1×104A·m-1.