Wolter I型反射镜面形在线检测装置设计

• 作者: 崔天刚 王永刚 陈波 马冬梅 马文生
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Wolter I型反射镜 长程轮廓测量仪 顺序扫描 倾斜度测量
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1801-1806
• 分类号: TH703|TQ171.65
• 字数: 2878字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101808.1801

摘要

由于传统的基于干涉原理的测量方法无法对用于太阳X射线成像仪的Wolter I型旋转非球面反射镜进行检测,本文提出了一种在线检测此类反射镜面形的方法.以长程轮廓测量仪的原理为基础,经过改进、整合测量装置并在扫描机构中加入五角棱镜转折光路,搭建了一套Wolter I型旋转非球面反射镜面形检测装置,并对该装置的工作原理、结构参数设定以及数据处理算法等进行了研究.用一块标准平面反射镜作为基准面对该装置定标,并通过实测反射镜样品进行验证实验.实验结果表明:该装置的倾斜度测量误差为RMS 6.7 μrad,重复精度为0.75 μrad,轮廓测量精度约为PV 0.24λ,RMS 0.07λ,基本满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0
3	马文生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	37	4.0	6.0