柱栅传感器实验样机的研制

• 作者: 朱洪涛 罗丽萍 邓林华 陈军平
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 柱栅传感器 全连续式螺旋绕组 实验样机 空间正交性
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 99-102
• 分类号: TP212
• 字数: 3288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.07.032

摘要

柱栅传感器是一种新型的直线位移数字式传感器,它来源于对直线式感应同步器的改进设想.柱栅概念样机研制的完成,证实了其设计思路的正确性与合理性.柱栅全连续化绕组的设计完全消除了分段绕组固有的端部效应.通过柱栅传感器实验样机的设计和制造及其相关测试,结果表明:该实验样机具有良好的空间正交性,测量系统误差小,达到了预期的效果,可以应用于精细位移测量.介绍了柱栅传感器实验样机的基本结构、研制和实验.进而验证了柱栅传感器的功能和使用性能.