MEMS器件与电路共同仿真原型系统

• 作者: 常洪龙 牛昊彬 苑伟政 马炳和
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 接口电路 共同仿真 加速度计
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 2206-2211
• 分类号: TN710|TH703
• 字数: 2168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101810.2206

摘要

为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为,建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统.首先,根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性,提出了MEMS器件与电路共同仿真的原理和方法,并依托国产电路仿真平台Zeni VLG建立了共同仿真原型系统的框架结构;然后,分别根据修正节点分析方法和模拟电路行为级建模方法开发了该共同仿真原型系统所必需的两个参数化模型库.通过一个跷跷板式微加速度计分别与其开环电路和闭环带载波电路的共同仿真对原型系统和模型库进行了测试,与国外商业软件Saber对比,开环仿真结果相对误差为2.1%,表明提出的原型系统能够有效进行MEMS器件与电路共同仿真,并且具有较高的精度.