工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

• 作者: 付利刚 吕反修 张福昌 王学武 霍承松 魏乃光
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1596-1600
• 分类号: O77
• 字数: 3281字
• 语种: 中文

摘要

本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科	151	1208	18.0	24.0
2	付利刚	北京科技大学材料科学与工程学院	4	11	2.0	3.0
4	霍承松		5	51	3.0	5.0
7	张福昌		3	9	2.0	3.0
8	魏乃光		3	9	2.0	3.0
9	王学武		3	9	2.0	3.0