离子注入ZnO薄膜的拉曼光谱研究

• 作者: 姚存峰 孙建荣 庞立龙 朱亚滨 王志光 申铁龙 盛彦斌 缑洁 臧航 马艺准 魏孔芳
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 离子注入 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 4831-4836
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

室温下,用80 keV N+和400 keV Xe+离子注入ZnO薄膜,注入剂量分别为5.0×1014-1.0×1017/cm2和2.0×1014-5.0×1018/cm2.利用拉曼散射技术对注入前后的ZnO薄膜进行光谱测量和分析,研究了样品的拉曼光谱随离子注入剂量的变化规律.