SOI亚微米波导光栅的设计与制作

• 作者: 孙阳 屠晓光 徐学俊 陈少武
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 亚微米光波导 波导表面光栅 F-P谐振腔 电子束光刻 光子集成
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

报道了SOI基亚微米小尺寸波导光栅器件的设计、制作与测试结果.提出了波导与光栅同步制作的方案,避免了套刻,节约了成本.实验中采用电子束光刻(EBL)、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀等先进半导体工艺技术,结合图形补偿等技术手段,完成了亚微米波导光栅的制作.光栅周期为350 nm,占空比16:19.采用该光栅做反射镜,制作了法布里-珀罗(F-P)谐振腔,经测试得到了与模拟相吻合的结果,峰谷比达到11 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	39	387	9.0	19.0
2	孙阳	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	22	125	5.0	10.0
3	屠晓光	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	4	7	1.0	2.0
4	徐学俊	中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室	7	17	2.0	4.0