高效率半导体激光器波导层掺杂的优化设计

• 作者: 刘素平 崇锋 熊聪 王俊 王冠 韩淋 马骁宇
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 电光转换效率 非对称宽波导 掺杂分布
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 16-19,54
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文

摘要

为获得高效率半导体激光器,理论分析并计算了p型波导层四种不同掺杂浓度分布对器件内损耗、串联电阻、阈值电流以及电光转换效率的影响,由此优化了p型波导层的掺杂浓度分布和厚度.根据计算及优化结果,p型波导层采取线性掺杂分布,厚度为0.45μm,制备了腔长1200μm的980 nm半导体激光器,其阚值电流为324 mA,内损耗为1.62 cm~(-1),串联电阻为136mΩ.当输入电流为1.98 A时,激光器的斜率效率和输出光功率分别为1.05 W/A和1.74 W,对应的电光转换效率从未优化时的54.6%提高到58.4%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	130	1155	16.0	27.0
2	韩淋	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	44	55	5.0	6.0
3	刘素平	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	37	253	7.0	15.0
4	熊聪	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	10	22	4.0	4.0
5	王冠	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	6	16	3.0	3.0
6	崇锋	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心	3	11	2.0	3.0