基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统

• 作者: 姜立军 李雄涛 杜贵平
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电流密度 在线监控 单位能耗
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TQ150.6
• 字数: 3391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.026

摘要

针对电镀过程中由人为因素所引起的能耗问题,为提高镀件质量,节能降耗,研制了一种以高频开关电镀电源为核心的基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统.该系统由上位机、电流密度采集系统和数字化电镀电源装置组成,实现了电流密度的在线检测与控制.镀层变化和系统能耗实验表明:该系统实现了电镀工艺工程能量的合理配置,在额定输出范围内具有较低的单位能耗和较高的效率,工艺质量优良,对不同规格的电镀工件具有广泛的适应性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜贵平		12	189	7.0	12.0
5	姜立军		50	291	11.0	15.0
6	李雄涛		1	2	1.0	1.0