(Ti,Al)N/Ti2AlN涂层的制备

• 作者: 孙超 宫骏 董瑜亮 赵升升 闫旭波
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 Ti2AlN涂层 高温退火 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 743-747
• 页数: 5页
• 分类号: TG172
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2009.00754

摘要

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层,研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响,以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化.XRD结果表明,通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分,使涂层经退火后生成Ti2AlN相.适当成分的沉积态涂层退火生成Ti2AlN相所需的最低退火温度为650℃,其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti2AlN相;退火过程中可能发生的化学反应为:AlTi3N+5Al→TiN+2Al3Ti和AlTi3N+3Al→Ti2AlN+Al3Ti.此外,延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti2AlN相含量略有增加.利用SEM对涂层进行了分析,测量了涂层的摩擦系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
3	赵升升	中国科学院金属研究所	2	17	1.0	2.0
4	董瑜亮	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
5	闫旭波	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0