钡盐文摘

• 来源期刊: 无机盐技术
• 学科: 物理学
• 关键词: SOL-GEL法 制备工艺参数 钛酸钡薄膜 文摘 钡盐 材料制备 脉冲激光沉积 锆钛酸钡
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 36-36
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

锆钛酸钡薄膜材料制备研究进展 陈华强 符春林 蔡苇 摘要：综述了磁控溅射，脉冲激光沉积、sol-gel法制备锆钛酸钡（简称BZT）薄膜的研究现状，及其制备工艺参数与显微结构、介电性能的关系，提出了制备BZT薄膜材料需要解决的工艺和理论问题