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Progress in Sputtering Procedure for QWR Cavity
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文献信息
| 篇名 | Progress in Sputtering Procedure for QWR Cavity | ||
| 来源期刊 | 中国原子能科学研究院年报：英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 溅射系统 薄膜均匀性 试验 | ||
| 年，卷（期） | 2010,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 130-131 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN305.92 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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溅射系统
薄膜均匀性
试验
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期刊影响力
中国原子能科学研究院年报：英文版
主办单位：
原子能出版社
出版周期：
年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市海淀区阜成路43号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
4071
总下载数（次）
7
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