单晶Si太阳能电池工艺仿真与性能分析

• 作者: 孙玲 常志强 罗向东
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机辅助设计 硅太阳能电池 pn结 伏安特性
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(先进工艺技术)
• 页码范围: 209-212
• 页数: 4页
• 分类号: TM914
• 字数: 2361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.03.003

摘要

日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用.基于TCAD工具,给出了一种简单pn结太阳能电池的工艺过程,详细介绍了其短路电流、开路电压、填充因子以及转换效率等性能参数的仿真方法,并以P型衬底上单晶Si太阳能电池为例,分别讨论了其伏安特性、光谱特性、照度特性和温度特性.与实验方法相比较,基于TCAD的辅助设计方法对加快国内太阳能电池工艺的技术发展将起到积极的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙玲	南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室	68	237	8.0	11.0
2	罗向东	南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室	38	119	7.0	9.0