磁控溅射制备钛合金扩散焊中间层Ti薄膜的研究

• 作者: 吴欣 周媛 李晓红 毕晓昉 毛唯 熊华平
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: Ti薄膜 扩散焊 钛合金
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 336-339,343
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2010.z1.072

摘要

以磁控溅射的Ti薄膜作为中间层可在较低温发下实现钛合金的扩散焊.研究了工作气压和溅射功率两个主要工艺参数对Ti薄膜沉积速率、成膜质量的影响规律.在Ar气压为0.8Pa,溅射功率为38W的条件下在TC4试祥表面沉积了厚约1μm的Ti薄膜,采用感应加热方式将其分别快速加热至600℃,800℃,900℃和1000C.通过对薄膜表面形貌、成分及物相分析发现,随着加热温度的升高,薄膜晶粒显著长大,少量Al,V原子扩散进入Ti薄膜中,除Ti6O外未发现新的物相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊华平		59	438	11.0	16.0
2	毛唯		80	724	14.0	20.0
3	李晓红		79	787	16.0	21.0
4	吴欣		22	97	7.0	8.0
5	周媛		12	75	5.0	8.0
6	毕晓昉	北京航空航天大学材料科学与工程学院	13	73	5.0	8.0