MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试

• 作者: 周汉昌 王会强 郝丽娜 郝晓剑
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 44-46
• 字数: 2379字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2010.05.028

摘要

传感器作为整个系统的核心部件,其性能对整个系统的指标起至关重要的作用,尤其是动态特性的优劣直接决定能不能测试到瞬态温度的变化.本文针对MEMS热电堆高温测试系统选定的A2TPMI型热电堆传感器进行静、动态性能标定,目的是为整个高温测试系统提供比较精确的传感器参数,为整个高温测试系统的校准提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝晓剑	中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院	110	443	11.0	14.0
2	周汉昌	中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院	100	634	13.0	19.0
3	郝丽娜	中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院	6	46	4.0	6.0
4	王会强	中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院	1	15	1.0	1.0