提高CCD测量精度的方法研究

• 作者: 王和顺 陈次昌 黄惟公
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 高精度测量 CCD测量 像素间距
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 136-139
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.41
• 语种: 中文

摘要

为了大幅提高CCD的测量精度,提出了一种全新的CCD使用方法.该方法是将像素间距为H的CCD器件的像素行沿与被测边缘垂直方向成一定角度α来进行摆放.此时,单线阵CCD的最大测量误差减小为H×COSα,N个线阵CCD等距错排并以α角度斜放,最大测量误差将减小为(Hcosα)/N,当列间距为h的面阵CCD沿被测对象轴向斜放时,最大测量误差减小为h × sinα.分别采用单CCD和双CCD,对直径为5.000,8.000和12.000 mm的三个标准杆件的直径进行了测量.结果表明,双CCD斜放,可获得更高的测量精度.该方法可从理论上彻底打破CCD像素间距的限制,并使CCD的测量精度大幅度地提高,进一步拓展CCD的应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈次昌	西南石油大学机械工程学院	60	614	15.0	22.0
2	王和顺	西华大学机械工程与自动化学院	66	534	12.0	19.0
3	黄惟公	西华大学机械工程与自动化学院	39	372	10.0	18.0