金刚石晶体生长温度的精确控制

• 作者: 亓曾笃
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 温度 精确 控制 分布 稳定 较低压
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.18

摘要

温度的精确控制是生长高质量金刚石晶体需要解决的重要问题之一，也是比较难解决的问题。本文讨论与温度精确控制有关的诸多因素，指出合理的温度分布，晶体生长过程中的温度稳定，伴之较低且稳定的压力，是大量生产高质量金刚石晶体的必要条件。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	亓曾笃	中科院上海硅酸盐研究所	15	11	1.0	3.0