多晶硅生产过程分析整体方案

• 作者: 徐锦庭 朱端明 郑修琴
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 过程分析 光谱分析 气体监测报警仪
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 精细化工
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1785.2010.03.006

摘要

从工艺控制、腐蚀防护、安全监控、环保监测等方面阐述了多晶硅生产过程分析的必要性;并提出了过程分析的整体方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱端明		2	4	1.0	2.0
2	徐锦庭		1	4	1.0	1.0
3	郑修琴		1	4	1.0	1.0